Смотреть больше слов в «Энциклопедическом словаре естествознания»
светочувствит. материалы, применяемые в фотолитографии для формирования рельефного покрытия заданной конфигурации и защиты нижележащей пов-сти от ... смотреть
- материалы органич. и неорганич. происхождения, чувствительные к оптич. излучению видимого или УФ-диапазона; применяются в фотолитографии для по... смотреть
ФОТОРЕЗИСТЫ, органические материалы, чувствительные к оптическому излучению видимой и ультрафиолетовой области. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании искусственных спутников, запоминающих устройств и др. по методу планарной технологии для формирования заданного рельефного рисунка на поверхности полупроводника или диэлектрической основы перед ее легированием.<br><br><br>... смотреть
ФОТОРЕЗИСТЫ - органические материалы, чувствительные к оптическому излучению видимой и ультрафиолетовой области. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании искусственных спутников, запоминающих устройств и др. по методу планарной технологии для формирования заданного рельефного рисунка на поверхности полупроводника или диэлектрической основы перед ее легированием.<br>... смотреть
ФОТОРЕЗИСТЫ, органические материалы, чувствительные к оптическому излучению видимой и ультрафиолетовой области. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании искусственных спутников, запоминающих устройств и др. по методу планарной технологии для формирования заданного рельефного рисунка на поверхности полупроводника или диэлектрической основы перед ее легированием.... смотреть
- органические материалы, чувствительные к оптическомуизлучению видимой и ультрафиолетовой области. Наиболее широко используютсяв микроэлектронике при создании искусственных спутников, запоминающихустройств и др. по методу планарной технологии для формирования заданногорельефного рисунка на поверхности полупроводника или диэлектрическойосновы перед ее легированием.... смотреть
органич. материалы, чувствительные к оптич. излучению видимой и УФ области. наиб. широко используются в микроэлектронике при создании интегральных схем... смотреть